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淄博高新區(qū)：聚力創(chuàng)“芯” 智造未來
來源：未知 日期：2019-04-30 點擊：次
“MEMS產(chǎn)業(yè)本身就是信息產(chǎn)業(yè)的一個重要發(fā)展方向，也是傳感器和智能微系統(tǒng)行業(yè)顛覆性技術(shù)。淄博市、高新區(qū)和清華大學(xué)選擇MEMS行業(yè)進行投資和開發(fā)，經(jīng)過幾年努力已經(jīng)開花結(jié)果。”中國工程院院士、清華大學(xué)副校長尤政在接受記者采訪時表示。
MEMS是什么？它集中了當(dāng)今科技發(fā)展的諸多尖端成果，在智能化“感知”時代，MEMS以其體積小、功耗低、靈敏度高等優(yōu)點，成為智能傳感的核心交互器件，廣泛應(yīng)用于國防軍事、現(xiàn)代工業(yè)、民用消費類電子、汽車電子、可穿戴可植入醫(yī)療等領(lǐng)域，是繼微電子之后又一個對國計民生具有重要影響的顛覆性技術(shù)，也是信息化、智能化的關(guān)鍵核心技術(shù)，擁有非常廣闊的應(yīng)用前景。
高新區(qū)準確捕捉到這一智能產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢，與清華大學(xué)機械工程學(xué)院成立國家高新區(qū)MEMS研究院。該研究院是微機電制造領(lǐng)域國內(nèi)首家校地共建的研究院，借助清華大學(xué)在MEMS領(lǐng)域的科研和人才優(yōu)勢，依托淄博集成電路產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)和政策優(yōu)勢，共同搭建具有國際先進水平的6英寸硅基MEMS中試代工平臺、著力打造國家級微系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化基地、引領(lǐng)國內(nèi)MEMS器件產(chǎn)業(yè)化進程，實現(xiàn)電子信息產(chǎn)業(yè)的跨越式發(fā)展。
2018年3月，首屆中國(淄博)MEMS產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略高峰論壇在我市舉行。期間，高新區(qū)MEMS研究院自主研發(fā)的MEMS陀螺、加速度計、繼電器等產(chǎn)品正式下線。MEMS陀螺和MEMS加速度計，廣泛應(yīng)用于軍用和民用的慣性產(chǎn)品領(lǐng)域，例如無人機、無人艦、自動駕駛汽車、手機以及所有可移動設(shè)備的導(dǎo)航功能；MEMS繼電器是極其微小的開關(guān)陣列，一個小拇指的指甲上就能擺放4個，具有高靈敏度和高可靠性，在智能手機、汽車、現(xiàn)代工業(yè)等領(lǐng)域普遍使用。研究院在研的還有MEMS微探針，是原子力顯微鏡的最重要核心部件，目前國內(nèi)所有的原子力顯微鏡探針完全依賴進口，微探針的國產(chǎn)化，將大幅降低采購成本，打破國外壟斷，實現(xiàn)又一項MEMS關(guān)鍵產(chǎn)品的自主研發(fā)。去年5月，高新區(qū)MEMS研究院承擔(dān)的“MEMS產(chǎn)業(yè)研究院”項目通過山東省科技廳、淄博市科技局、高新區(qū)科技局的聯(lián)合專家組驗收，項目實施期間獲得首批市高新技術(shù)創(chuàng)新“雙十計劃”立項。“目前，研究院已建成國內(nèi)首家MEMS專業(yè)化中試代工平臺，可為淄博本地乃至省內(nèi)外客戶提供MEMS仿真設(shè)計、小試、中試以及代工服務(wù)。”高新區(qū)MEMS研究院科技管理部部長劉通說。
記者在MEMS研究院投資組建的國有控股公司——山東博華電子科技發(fā)展有限公司的生產(chǎn)基地時看到，企業(yè)廠房面積5000平方米，分環(huán)境潔凈區(qū)、動力區(qū)、辦公區(qū)等。潔凈面積1540平方米，百級區(qū)340平方米、千級區(qū)400平方米，萬級區(qū)800平方米，超凈規(guī)模國內(nèi)領(lǐng)先。擁有德國SUSS公司光刻機、奧德利EVG公司鍵合機、英國SPTS公司深硅刻蝕機等國際一流6英寸微納米技術(shù)制造設(shè)備，產(chǎn)品的測試環(huán)境也居國內(nèi)先進水平。
山東博華電子科技發(fā)展有限公司僅是高新區(qū)MEMS產(chǎn)業(yè)園區(qū)所入駐的企業(yè)之一。整個園區(qū)占地面積523畝，計劃總投資30億元，規(guī)劃建筑面積56萬平方米。目前，同方股份有限公司、臺灣點晶科技有限公司、航天704所、中國兵器集團公司、中電集團55所、哈工大電路設(shè)計公司等多家科研機構(gòu)和企業(yè)已達成入駐意向。
未來，在繼續(xù)完善MEMS中試代工平臺的基礎(chǔ)上，延伸建設(shè)MEMS設(shè)計與開發(fā)、小試與中試、封裝與測試平臺，通過淄博國家高新區(qū)MEMS研究院的技術(shù)牽引，淄博將逐步建成國家級MEMS產(chǎn)業(yè)基地、軍民融合發(fā)展示范基地、產(chǎn)學(xué)研用全產(chǎn)業(yè)鏈核心共性技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新平臺。可以預(yù)見，這一園區(qū)將打造成全球領(lǐng)先的國際化MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè)集群，最終建成集研發(fā)、試驗、檢測、生產(chǎn)、辦公、展示與交易一體的MEMS產(chǎn)業(yè)示范園。
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